设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0335-8057031

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 赵铁石

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: OLS-3100

所属科研设施:

主要功能: （1）材料科学：新材料研发，缺陷分析，失效分析，传统金相分析。在材料行业中，定位于最高端的金相显微镜，具有分辨率高、制样要求、同时可以做3D分析等优势，同时由于可以增加热台和金相分析软件，基本可以涵盖高端金相的应用要求。 （2）摩擦学、腐蚀等表面工程：磨痕的体积测量，粗糙度测量，表面形貌，腐蚀以及亚微米表面工程后的表面形貌。 （3）半导体/LCD：各种工艺（显影、刻蚀、金属化、CVD、PVD、CMP等）后表面形貌观察，缺陷分析非接触型的线宽，台阶深度等测量，及GOLD BUMP的高度与表面粗糙度。 （4）

主要技术指标: 显微镜观察方法 激光、明视场、微分干涉 物镜 5X, 10X, 20X, 50X, 100X 总倍率 120X – 14400X 观察视唱 2560 × 2560 – 21×21μm 光学变焦 1X – 6X 显微镜镜体 照明 激光 408nm半导体激光 级别2 Z载物台 上下动作范围 70mm 试样最大高度 100mm Z转换器 测量行程 10mm 驱动分辨率 0.01μm 载物台* 手动载物台 100×100mm 图像存储 亮度 1024×1024×12bit 高度 1024×1024×16bit 外形尺寸 464(W)×559(W)×620(H)mm 重量 57.5kg

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: