设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 电子与通信技术, B08, B10, C44]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0371-67766917

电子邮箱: Chysh2003@zzu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 陈永生

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: PECVD

所属科研设施:

主要功能: 用于制备半导体行业生产所须的Si3N4、SiO2、μc-Si:H薄膜等。

主要技术指标: 极限压力（Pa）：进样室： 6.7×10－4，沉积室： 6.7×10－5 样品台尺寸（mm）：150 × 150 RF 电源：500W（13.56MHz）两套，300W（10-4100MHz）一套 气体供给：8 路，质量流量控制器控制

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: