设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0731-88822663

电子邮箱: lideyi@hnu.edu.cn

通讯地址: 湖南省长沙市岳麓区麓山南路2号湖南大学材料学院

邮政编码: 410082

联系人: 李德意

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: M1S800

所属科研设施:

主要功能: 磁控溅射镀膜，离子束溅射镀膜

主要技术指标: 真空室Φ800mm×H1000mm，配1套50kV中能离子源、两套Φ80cm溅射离子源、一套Φ60cm低能清洗离子源、两套三工位溅射转靶、两套Φ50cm磁控溅射靶、六工位自转/公转样品台（含两个水冷台、两个加热台、一个粉末台、一个偏压台）、极限真空度≤1×10-4Pa、漏率≤1×10-8Pa L/S、配循环水冷却系统。

安放地址: 工程实验大楼550

服务内容: 样品制备，面向用户提供功能薄膜材料的制备（主要是金属材料）

服务的典型成果: 支撑国家级军工项目5项，国家自然科学基金青年基金项目1项，湖南省先进涂层中心1个。

对外开放共享规定: 网上预约，工作日服务

参考收费标准: 300元/小时，靶材自理