设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 13844090127

电子邮箱: yanhuiwang@jlu.edu.cn

通讯地址: 吉林省长春市前进大街2699号

邮政编码: 130000

联系人: 王艳辉

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: SPEL M-2000VI , *

所属科研设施:

主要功能: 该设备采用旋转补偿专利技术保证Delta的准确测量，适用于探测薄膜厚度、光学参数n（折射率）、k（吸收率）值以及材料微结构。

主要技术指标: 1、厚度范围：1nm～10um；厚度分辨率： 0.1nm (1埃)；2、重现性： 70nm SiO2 on Si,cos(Delta) #177;0.0003, tan(Psi) #177;0.0002；3、光斑大小：300#215;1200 um ； 4、折射率精度：0.005；5、光谱范围： 400～1000nm （可选290～1050nm）； 6、光谱分辨率：1 nm ；7、入射角度：70#176;（其他角度可选配）。

安放地址: 吉林省长春市朝阳区前进大街2699号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 开放时间:2016-07-18至2016-07-20 星期:1,2,3,4,5 时间:08：00 - 16：00送样时间:2016-07-25至2017-07-26 星期:1,2,3,4,5 时间:08：00 - 16：00

参考收费标准: 计时标准：按预约时间 校外：0/小时；200/样品 校内：0/小时；150/样品