设备分类编码: 010299

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [化学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0591-63173175

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 黄瑾

仪器所属类别: 分析仪器>>质谱仪器>>其他

规格型号: DLS-83D

所属科研设施:

主要功能: 检测Si、ZnO、GaN 等半导体材料中微量杂质、缺陷的深能级及界面态

主要技术指标: 温度范围：20K-320K，温度稳定性：0.1K，温度精度：< 1K or 1%，测试电容：1-10000pF，电容灵敏度：2*10-5pF，检测灵敏度：<1010 atoms/cm3

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: