设备分类编码: 010802

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0592-2187739

电子邮箱: hanson_jiang@xmu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 蒋书森

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>激光共焦显微镜

规格型号: OLS 1200-FAR2

所属科研设施:

主要功能: 主要用于集成电路、半导体元器件、光电子器件、光学器件等实时和非破坏高分辨率检测。

主要技术指标: 1. 2维适用于1.5mm～1μm 线宽、直径等几何测量； 2. 3维适合于1mm～0.5μm的高度、体积（容积）、表面积等3D测量，并能提供3D效果图片； 3. 可以观察分辨0.15μm的线和点，最大观察范围3620μm×3620μm。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: