设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0351-6010373

电子邮箱: zhanghua@tyut.edu.cn

通讯地址: 太原理工大学

邮政编码: 030024

联系人: 张华

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: PECVD Aejis-20

所属科研设施:

主要功能: 沉积二氧化硅薄膜

主要技术指标: 批次之间均匀性误差：5％

安放地址: 太原理工大学

服务内容: *

服务的典型成果: *

对外开放共享规定: 太原理工大学大型仪器共平台实施细则（试行）

参考收费标准: *