设备分类编码: 120302
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [材料科学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0351-6010374
电子邮箱: zhangyan@tyut.edu.cn
通讯地址: 太原理工大学
邮政编码: 030024
联系人: 张燕
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备
规格型号: SGM-6301
所属科研设施:
主要功能: 蓝宝石片减薄
主要技术指标: 减薄厚度一致性:98%以上
安放地址: 太原理工大学
服务内容: *
服务的典型成果: *
对外开放共享规定: 太原理工大学大型仪器共平台实施细则(试行)
参考收费标准: *