设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0938-8618499

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联系人: 刘斌

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: DWL66+

所属科研设施:

主要功能: 该系统主要用于涂有光组织的各种基片，玻璃，硅片，或其他平面材料的激光图形直写。 适用于掩膜版的试制和直接进行描写的研究开发。

主要技术指标: 灰尘粒子过滤等级：10级；气体流量控制：0.3-0.5m/s； 温度控制：+/-0.1℃；可接受最大基板尺寸：9”*9”； 有效光刻面积：200*200m2；可接受基材厚度：0-6mm； 氦氖激光干涉仪分辨率：10nm 套刻对准精度：100nm-150nm

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: